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微波介质陶瓷滤波器具有小型化、重量轻和易集成等优点,并且低介电常数的微波介质陶瓷滤波器还具有传输和响应速度快、温度稳定性高、传输损耗低、频率选择性好等优点,这使得它在5G通信、卫星通信和雷达系统应用中显示出了巨大优势。
微波陶瓷滤波器的电磁性能除了与微波陶瓷的结构参数、介电常数、损耗因子相关外,还与频率温度系数有很大关系,它决定了滤波器的工作稳定性。当微波介质材料的谐振频率随温度变化较大时,载流子信号会在不同的温度下漂移,从而影响器件的性能,因此要求材料的谐振频率不随温度变化。Mg2SiO4、Mg4Nb2O9和Al2O3作为常用的低介电常数微波陶瓷被广泛研究,但Al2O3的品质因子和谐振频率乘积(Q·f)值明显高于Mg2SiO4和Mg4Nb2O9。作为一种典型的低介电常数微波介质陶瓷,Al2O3具有制造成本低、导热系数大[室温下24.5W/(m·K)]等优点,它在毫米波下表现出优异的介电性能(介电常数εr=10,Q·f=GHz,温度系数τf=-60×10-6/℃)。
然而,Al2O3的温度系数较大,烧结温度较高(~℃),限制了其工业应用。由于TiO2陶瓷拥有相对介电常数εr=、Q·f=GHz和τf=×10-6/℃的温度系数,为了改善Al2O3陶瓷的介电性能,加入一定量的TiO2形成Al2O3TiO2复合陶瓷,有望使温度系数值趋于零。Youshihiro等人报道了Al2O3TiO2体系的介电性能,当Al2O3与TiO2的摩尔比为9∶1时,其温度系数几乎为零。
目前,用增材制造技术(Additivemanufacturing,AM),即3D制造技术加工的微波和射频无源器件吸引了越来越多的
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